호남투데이

반도체에 악재?…산업부, '삼불화질소' 규제 움직임 "우려"

RE100 외쳤는데 온실가스 배출량 늘어나나

대체물질 없어 반도체·디스플레이업계 '당혹'

2023.06.26 06:53 입력

경제/오정관기자 oh2506@hanmail.net

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					<div><table id="news_image" class="center" align="center" width="700"><tbody><tr><td><img alt="반도체에 악재?…산업부, '삼불화질소' 규제 움직임 우려" src="http://honamtoday.com/PEG/16877299954715.jpg" width="700" align="absmiddle"><div id="news_caption" class="">▲이창양 산업통상자원부 장관이 20일 세종시 집현동 비전세미콘을 방문, 반도체 플라즈마 세정과 오븐시스템 등 반도체 후공정 장비 생산 현장을 살펴보고 있다. </div></td></tr></tbody></table><br></div><div><font size="4"><br></font></div><div><font size="4">온실가스 물질에 삼불화질소(NF₃)를 포함하는 내용의 녹색성장기본법 개정안이 국회에 발의된 가운데, 산업통상자원부가 반도체 산업에 미칠 영향이 우려스럽다는 내용의 의견서를 관계부처에 전달한 것으로 드러났다.</font></div><div><font size="4"><br></font></div><div><font size="4">26일 관계 부처에 따르면 산업부는 우원식 더불어민주당 의원이 대표발의한 '기후위기 대응을 위한 탄소중립·녹색성장 기본법' 개정안과 관련해 환경부로부터 의견조회가 들어와 국내 산업계를 대변하여 의견서를 제출했다.</font></div><div><font size="4"><br></font></div><div><font size="4">삼불화질소는 산업 현장에서 중요도가 높은 물질이고, 대체물질 개발이 아직 요원하다는 것을 산업부가 설명한 것으로 전해진다. 우리나라를 비롯해 대만·일본 등에서 삼불화질소를 많이 사용하는데, 법 개정이 이뤄질 경우 글로벌 경쟁력이 약화될 우려가 있을 수 있다.</font></div><div><font size="4"><br></font></div><div><font size="4">삼불화질소는 반도체 등 첨단 산업에서 필수적으로 활용되는 특수가스다. 반도체를 만들 때 웨이퍼 찌꺼기나 불순물을 제거하는 데 사용되며, 디스플레이·태양전지 공정에서도 세정 가스로 많이 쓰인다.</font></div><div><font size="4"><br></font></div><div><font size="4">반도체·디스플레이 산업에서 필수적으로 쓰이는 만큼 삼불화질소가 온실가스 물질에 포함될 경우 국내 주요 산업의 온실가스 배출량은 크게 높아질 수밖에 없다.</font></div><div><font size="4"><br></font></div><div><font size="4">당장 대체물질이 없어 산업계에서는 당혹스러운 모양새다. 산업부는 삼불화질소를 대체할 물질을 개발하기 위해 개발 과제를 진행 중이지만 실제 산업에서 활용되기까지는 시일이 걸릴 것으로 예상된다.</font></div><div><font size="4"><br></font></div><div><font size="4">산업계는 온실가스 배출량이 늘어나는 것을 부담스럽게 여기고 있다. 최근 전 세계적으로 'RE100'(사용하는 전력 100%를 재생에너지로 충당하는 자발적인 캠페인) 등 탄소중립에 대한 관심이 커지고 있기 때문이다. 삼성전자는 지난해 9월 RE100에 가입한 바 있다.</font></div><div><font size="4"><br></font></div><div><font size="4">현행법상 이산화탄소를 기준으로 환산한 6개 온실가스 물질(이산화탄소, 메탄, 아산화질소, 수소불화탄소, 과불화탄소, 육불화황)의 배출총량으로 온실가스 배출량을 나타내고 있다.</font></div><div><font size="4"><br></font></div><div><font size="4">하지만 유엔기후변화협약(UNFCCC)에서는 삼불화질소를 포함해 7가지 온실가스 물질을 규정하고 있다. 이에 우리나라도 UNFCCC 기준에 맞춰 삼불화질소를 포함하려는 법안 개정이 시작된 것이다.</font></div><div><font size="4"><br></font></div><div><font size="4">현재는 삼불화질소가 온실가스로 포함되지 않아 배출량에 잡히지 않지만, 온실가스로 추가되면 배출량에 반영해야 한다.</font></div><div><font size="4"><br></font></div><div><font size="4">문제는 아직 삼불화질소에 대한 공식적인 통계가 없고, 정확한 데이터 집계 조차 어려운 상황이라는 것이다. 산업계에서는 공정 과정 중 처리 시설을 통해 플라즈마를 파괴하는 방식으로 삼불화질소를 저감 중이다. 하지만 이 과정을 통해 얼마나 물질이 감축되는지 '저감 효율'에 대한 정확한 측정은 이뤄지지 않고 있다.</font></div><div><font size="4"><br></font></div><div><font size="4">이에 정부는 정확한 데이터 값을 얻기 위해 관련 기준을 손보고 있다. 국립환경과학원은 지난 11일 온실가스 배출·감축량을 더 정확히 산정하기 위해 온실가스 공정시험 기준을 개정한 바 있다. 아산화질소, 수소불화탄소, 과불화탄소, 육불화황, 삼불화질소의 농도를 적외선흡수분광법으로 측정하는 것이 골자다.</font></div><div><font size="4"><br></font></div><div><font size="4">산업부 관계자는 "대체 물질과 관련해선 현재 개발 과제가 진행 중"이라며 "아직 논의가 시작되는 단계라 전반적으로 들여다보는 중"이라고 밝혔다. </font></div>				</div>